DC plasma ...

[maharshi_qis]

hvad der menes med DC plasma ..... hvordan er forskellig fra AC plasma.

 

[CK815]

Forskellen mellem AC og DC plasma er den måde, de er genereret.DC plasma bygger på den kendsgerning, at en gas, der holdes mellem to elektroder, der har en potentiel høj nok vil blive ioniseret.Effekten kaldes DC glød udledning.Elektroner vil blive fremskyndet mod anoden, ioner mod katoden.Hvis et ledende materiale er placeret på katoden, vil accelererede ioner bombardere materiale og føre til en proces, der kaldes sputtering.Hvis en isolator er placeret mellem elektroderne, vil plasma ikke være i stand til at danne under DC vilkår (tænk på en kondensator!).Her, AC er påkrævet (normalt i RF række 10MHz - 14MHz).Dette er den proces, der anvendes til plasma ætsning af wafers.

Hilsen,

C.