er brugen af buffer lag siliciumnitrid

P

praveen_akshay

Guest
hvad er brugen af buffer lag siliciumnitrid i CMOS VLSI fremstilling

 
det er et oxid elemnet i GATE-terminal, som er en erstatning for silicium-di-oxid .... da det er der dielektriske konstant, det nedsætter tærsklen spænding af MOS-anordning, der fører til lavt strømforbrug samt hurtig respons .. håber det er korrekt ...

 
Jeg tror, det anvendes til selektiv oxidation.siliciumoxid vil ikke vokse på siliciumnitrid så det kan bruges som en slags maske.

 
silicone nitrid gøre brug af et lag af Si3N4 og SiO2 hvis dielektrisk konstant er omkring dobbelt så stor som kunne SiO2 aloneso Vt være deacresed i MOS enhedTilføjes efter 47 sekunder:silicone nitrid gøre brug af et lag af Si3N4 og SiO2 hvis dielektrisk konstant er omkring dobbelt så stor som SiO2 alene, så kunne Vt være deacresed i MOS enhed

 

Welcome to EDABoard.com

Sponsor

Back
Top