Mønstret Ground Shileding

[hrkhari]

Hi Guys: Hvorfor er det en almindelig praksis at bruge poly lag eller silicided poly lag i realiseringen mønstrede jorden afskærmning for spole og ikke andre llayers såsom metal. På forhånd tak Rgds

 

[neoflash]

Jeg tror, der er to grunde. Hvorfor vi har brug for afskærmning? 1. vi nødt til at reducere substrat koblingen mellem tilstødende induktorer. 2. vi nødt til at reducere kapaciteten mellem spole og lossy substrat. Så hvis poly er ledende nok til at reducere koblingen, er det ok at bruge det. Poly har en anden fordel, det er mere væk fra inductor lag, således lavere parasitisk kapacitans.