MOS hjørne spørgsmål

[chungming]

Vi siger ofte, MOS har tt ss ff sf fs hjørner.
s hjørne grund til at tænke Tox og f hjørne henvise til tynde Tox proces,
derefter femte vil være større eller mindre.
Af oxider af pmos og nmos forarbejdes på samme tid.
Så SF og fs hjørne er mulig??
tak ~!

 

[strennor]

s og f er ikke kun forårsaget af poly tykkelse, men også doping ...mange faktorer

selv for de samme faktor, er det anderledes, hvis wafer steder er anderledes, noget, vi kaldte gradient

så sf eller fs absolutly muligt

Jeg tror, Monte Carlo give bedre resultater end hjørne