Spørgsmål om MOM kondensator i TSMC støberi

N

neoflash

Guest
Startende fra 55nm teknologi, TSMC begynder at give MOM kondensator i generiske CMOS teknologi som f.eks 40LP. Mit spørgsmål er, at uanset TSMC gøre nogen særbehandling på disse MOM område, for at forbedre metal bredde / rum nøjagtighed? (Som i sidste ende forbedre kondensator nøjagtighed) Eller MOM cap er bare en almindelig metal finger fælles landbrugspolitik, som en særlig layout mønster. Normalt vil fineste metal afstand årsag metal-metal finger kondensator variation så stor som ca + / - 20% eller endnu værre. Jeg hørte fra den gade, der MOM kondensator nøjagtighed kan være inden for + / - 10%. Jeg er nysgerrig, hvis dette er virkeligt. Tak, Neo
 

Welcome to EDABoard.com

Sponsor

Back
Top