TSMC 0.18um procesflow beskrivelse

[field_catcher]

Kære Alle, jeg gør TSMC 0.18um layout. Jeg tror, det ville være rart, hvis jeg kan få den detaljerede beskrivelse af processen flow, så jeg kan visualisere det når jeg tegner. Hvad jeg kan finde er en meget kort beskrivelse af processen flow med en masse forkortelser, er det meget frustrerende at finde ud af processen fra det. Kan nogen hjælpe?

 

[eng]

Hej, jeg har lignende anmodning om 0,18 um IBM CMOS 7RF proces. Enhver hjælp vil være yderst værdsat.

 

[Colbhaidh]

Jeg indsendt dette et stykke tid siden, men ved ikke, hvordan at pege tilbage til et tidligere indlæg. Ikke sikker på, om dette er hvad du beder om, og det omfatter ikke bagenden metallisering, der er let at visualisere.

 

[steer]

Fremragende doc! Kunne du sender en backend-del af det så godt? [Size = 2] [color = # 999999] Lagt efter 2 timer 18 minutter: [/color] [/size] Efter en nærmere undersøgelse, betyder doc ikke nævner halo implantat scenen. Er det virkelig 0.18um flow?