Vth0 stige som gate længde blevet små, hvorfor?

[filtershaoyong]

Ifølge Sze's bog, vil vth0 falde som gate længde blevet små med konstant bredde.
Men jeg konkludere TSMC 0.18um teknologi, der Vth0 stige i takt med længden reducere.

Jeg fandt, at W = 10um L = 10U, 4U, 1U, 0.18u, vi fik den tilsvarende Vth0 = 0.43mv, 0.44mv, 0.48mv, 0.51mv

hvorfor?

 

[elbadry]

Der er en effekt kaldet:

reverse kort kanal virkning.Denne effekt er en stigning i tærskel spænding som kanal længde aftager.

Denne effekt er relateret til brugen af ion-implantation.Ionimplantation forårsager nogle fejl i nærheden af kilden, der resulterer i høj doping (unintentionaly høj) i nærheden af kilden, hvilket øger tærsklen spænding.